Rotations-Drehratensensor mit mechanisch entkoppelten Schwingungsmoden

Die Erfindung betrifft einen Drehratensensor zur Detektion einer Drehung, um die der Sensor gedreht wird. Der Sensor weist die folgenden Bestandteile auf: ein Substrat, ein Schwingungselement, das durch Anregung in eine Rotationsschwingung ?1 versetzt werden kann, eine Ankerstruktur, ueber die das Schwingungselement mit dem Substrat verbunden ist, ein oder mehrere Detektionselement(e), ein oder mehrere Verbindungselement(e), das/die das oder die Detektionselement(e) mit dem Schwingungselement verbindet/verbinden, eine Anregungseinrichtung zur Anregung des Schwingungselements und eine Erfassungseinrichtung zur Erfassung einer radialen Schwingung des oder der Detektionselemente(s), und er ist dadurch gekennzeichnet, dass jedes der Detektionselemente in derselben Ebene, in der die Rotationsschwingung ?1 des Schwingungselements erfolgt, eine Radialschwingung ausfuehren kann, wobei aber die Zentrifugalkraft Fz, die durch die Rotationsschwingung ?1 auf jedes dieser Detektionselemente einwirkt, im Wesentlichen keine Radialbewegung des oder der Detektionselemente(s) ausloesen kann. Zum Detektieren einer Drehbewegung um eine Drehachse z kann jedes der Detektionselemente in derselben Ebene, in der die Rotationsschwingung ?1 des Schwingungselements erfolgt, eine Radialschwingung ausfuehren, wobei aber die Zentrifugalkraft Fz, die durch die Rotationsschwingung ?1 auf jedes dieser Detektionselemente einwirkt, im Wesentlichen keine Radialbewegung dieser Detektionselemente ...

WO2005098358 A UPAB: 20051130 NOVELTY - Sensor comprises the following: a substrate, at least one oscillating element that can be excited so as to oscillate rotationally or radially, an anchor structure, one or more detection elements, one or more joining elements that connect the detection elements to the oscillating element, a mechanism for exciting the oscillating element, and a device for detecting a radial or rotational oscillation of the detection elements. DETAILED DESCRIPTION - Each of the detection elements can oscillate radially in the same plane on which rotational oscillation of the oscillating element occurs, or vice versa, while the centrifugal force caused by the rotational oscillation causes no substantial radial movement of the detection elements or the oscillating elements. USE - Angular velocity sensing gyroscope. ADVANTAGE - Sensor size and manufacturing cost are reduced because the centrifugal force does not have to be compensated.