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Transportvorrichtung mit speziellen Kettengliedern zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone

Conveyor for transporting semiconductor wafers through high temperature zones comprises chain made from ceramic links which are directly connected.
 
: Biro, D.; Gentischer, J.

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DE 102004019950 A: 20040423
DE 2004-102004019950 A: 20040423
DE 102004019950 A1: 20051117
B65G0017
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone, insbesondere eine Hochtemperaturzone, die zumindest einen umlaufenden Kettenstrang mit Kettengliedern aus einem hochtemperaturstabilen, nicht-metallischen Material, insbesondere einem keramischen Material, und zumindest einen Antrieb fuer den Kettenstrang aufweist. Die Transportvorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Kettenglieder zur Bildung des Kettenstranges direkt ineinander gefuegt sind. Mit der vorliegenden Transportvorrichtung laesst sich ein kontaminationsarmer und stabiler Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone bei geringer thermischer Masse des eingesetzten Kettenstranges erreichen.

 

DE1004019950 A UPAB: 20051216 NOVELTY - The conveyor for transporting semiconductor wafers through high temperature zones comprises a chain made from ceramic links (5). These are directly connected, a cylindrical head (6) on one end of a link fitting into a groove (7) on the opposite end of an adjacent link. USE - Transporting semiconductor wafers through high temperature zones. ADVANTAGE - Contamination of the wafers is reduced.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-35430.html