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Vorrichtung und Verfahren zum reaktiven Beschichten von Objekten

Reactive coating unit comprises a work chamber with at least one magnetron, a primary measurement unit and a control circuit.
 
: Krause, U.; Hartung, U.; Peters, C.; Krause, I.; Kopte, T.

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DE 102004024980 A: 20040521
DE 2004-102004024980 A: 20040521
DE 102004024980 A1: 20051208
C23C0014
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum reaktiven Beschichten von Objekten (2) mittels einer Magnetroneinrichtung, umfassend eine Arbeitskammer (1) mit mindestens einem Magnetron (3), eine erste Messeinrichtung (4) zum Erfassen eines Intensitaetswertes (I1) einer optischen Plasmaemission innerhalb der Arbeitskammer (1) und einen inneren Regelkreis, in welchem der Fluss eines Reaktivgases in die Arbeitskammer (1) waehrend eines Beschichtungsvorgangs mittels einer ersten Steuereinrichtung (5) in Abhaengigkeit vom erfassten Intensitaetswert (I1) der optischen Plasmaemission gesteuert wird, wobei der Reaktivgasfluss in die Arbeitskammer (1) waehrend des Beschichtungsvorgangs beeinflusst wird, indem in einem aeusseren Regelkreis mittels einer zweiten Steuereinrichtung (9) in Abhaengigkeit eines mittels einer zweiten Messeinrichtung (8) erfassten Reaktivgaspartialdruckwertes (I2) ein in den inneren Regelkreis eingehender Wert veraendert wird.

 

DE1004024980 A UPAB: 20060112 NOVELTY - An arrangement for the reactive coating of objects (2) using the magnetron principle, comprises a work chamber (1) with at least one magnetron (3), a primary measurement unit (4) for determining the intensity of an optical plasma emission in the work chamber, and a control circuit. The reactive gas flow can be controlled by using an outer control circuit with a second control unit (9), to alter the gas partial pressure. USE - For reactive coating of objects. ADVANTAGE - The arrangement is simple and effective.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-35395.html