Publica

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Oberflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck

Barrieren-Entladung

: Thomas, M.; Eichler, M.; Klages, C.-P.

	JOT. Journal für Oberflächentechnik 45 (2005), No.11, pp.44-47 ISSN: 0940-8789 ISSN: 0021-3756 ISSN: 2192-869X

	German
	Journal Article
	Fraunhofer IST ()
	Dünnschicht; elektrische Entladung; Gasatmosphäre; Dielektrikum; Barriere; atmosphärischer Druck; Oberflächeneigenschaft; Precursor; Aminogruppe; dünne Schicht

Abstract
Mit Atmosphärendruck-Plasmaverfahren ist es möglich, große Flächen in hohen Prozessgeschwindigkeiten zu aktivieren und zu beschichten. Der folgende Beitrag informiert über den Stand der Technik und beschreibt Anwendungen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-35303.html