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MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen?

Organische Kontaminationen auf Oberflächen und Bestimmung deren Kondensationsrate
 
: Keller, Markus; Weisser, Stefanie

:
Fulltext urn:nbn:de:0011-n-3526234 (598 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: c38d7ef07daaf999ce336f5ba6845e9f
Created on: 6.8.2015


GIT. Labor-Fachzeitschrift 59 (2015), No.6, pp.38-41
ISSN: 0016-3538
German
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
Kontaminationsüberwachung; FTIR; Standardisierung; Organik; Molecular Organic Contamination (MOC); Reinraum; Oberfläche; Kondensieren; Klassifizieren

Abstract
Mit einer entsprechenden Reinraumumgebung erreicht man je nach Anforderung und technischer Ausstattung eine definierte kontrollierte partikuläre Reinheit der Atmosphäre im Reinraum. Die nach der Filtration verbleibende Restkonzentration an Partikeln wird in Abhängigkeit deren Größenverteilung als ISO-Klasse nach ISO 14644-1 ausgedrückt.
Eine weitere immer wichtiger werdende Kontaminationsart für reine Produktionsumgebungen sind luftgetragene chemische Verbindungen (ACC - airborne contamination by chemicals), welche sich beispielsweise auf Produktaberflächen niederschlagen können. Die ACeKonzentration wird gemäß ISO 14644-8 als eine ISO-ACC-Kiasse (x) gemäß Tabelle 1 ausgedrückt.
Tatsächlich prozesskritisch sind hingegen chemischen Verbindungen, welche auf Produktoberflächen kondensieren und folglich eine entsprechende Oberflächenkontamination verursachen. Diese Kontaminationsart wird als SCC (surface contamination by chemicals) bezeichnet. Deren Konzentration wird nach ISO 14644-1 0 als eine ISO-SCC-Kiasse (x) gemäß Tabelle 1 ausgedrückt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-352623.html