Publica

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Untersuchung verschiedener Methoden zur Prozeß- und Maschinenüberwachung in der Halbleiterfertigung

	Aachen: Shaker, 1999, XII, 151 pp. : graph. Darst. Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1999 Berichte aus der Halbleitertechnik ISBN: 3-8265-6820-6

	German
	Dissertation
	Fraunhofer IMS ()
	Fertigungsüberwachung; Halbleiter; Prozeßüberwachung; Qualitätssicherung