Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung von Schichtinhomogenitäten einer Fläche

DE102013220601A1 [DE] Die Erfindung beschreibt eine Erfassungsvorrichtung (10) mit einer Abtasteinrichtung, die ausgebildet ist, um eine innere Begrenzungsflaeche (12) eines Koerpers (14a) zumindest in einem Abschnitt mittels optischer Kohaerenztomographie punktweise zu erfassen und Messinformationen bereitzustellen. Die Vorrichtung umfasst eine Transporteinrichtung (24), die ausgebildet ist, um den Koerper (14a) und die Abtasteinrichtung (16) relativ aneinander vorbeizubewegen. Eine Verarbeitungseinrichtung (26) der Vorrichtung (10) ist ausgebildet, um basierend auf den Messinformationen einen Datensatz mit Streuinformationen der inneren Begrenzungsflaeche (12) abzuleiten.