Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Positionsbestimmung von Microscannerspiegeln mit integrierten piezoresistiven Sensoren

 
: Conrad, H.

Dresden, 2005, XIV, 182 pp.
Dresden, Hochschule für Technik und Wirtschaft, Dipl.-Arb., 2005
German
Thesis
Fraunhofer IPMS ()
Scannerspiegel; Sensor; Dünnschichttechnik

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-33841.html