Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Positionsbestimmung von Microscannerspiegeln mit integrierten piezoresistiven Sensoren
:
Conrad, H.
Dresden, 2005, XIV, 182 pp.
Dresden, Hochschule für Technik und Wirtschaft, Dipl.-Arb., 2005
German
Thesis
Fraunhofer IPMS
(
)
Scannerspiegel
;
Sensor
;
Dünnschichttechnik
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/N-33841.html
