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Verfahren zur Strukturierung von Schichten oxidierbarer Materialien mittels Oxidation sowie Substrat mit strukturierter Beschichtung

METHOD FOR STRUCTURING LAYERS OF OXIDIZABLE MATERIALS BY MEANS OF OXIDATION AND SUBSTRATE HAVING A STRUCTURED COATING
 
: Kamp, Mathias; Bartsch, Jonas; Glatthaar, Markus

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DE 102013219342 A1: 20130926
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung von Schichten oxidierbarer Materialien. Hierbei wird mindestens eine auf einem Substrat angeordnete Schicht eines oxidierbaren Materials einer lokalen Oxidation mit mindestens einem Oxidationsschritt unterzogen. Bei dieser wird mindestens ein ausgewählter Bereich der Schicht des oxidierbaren Materials oxidiert, sodass die Schicht nach der Oxidation durch mindestens einen sich über die gesamte Schichtdicke erstreckenden oxidierten Bereich in voneinander elektrisch isolierte Bereiche unterteilt ist.

 

WO15044022A1 [EN] The invention relates to a method for structuring layers of oxidizable materials. In said method, at least one layer of an oxidizable material arranged on a substrate is subjected to a local oxidation process having at least one oxidation step. In said local oxidation process, at least one selected region of the layer of the oxidizable material is oxidized such that the layer is divided into regions electrically insulated from each other by at least one oxidized region extending across the entire layer thickness after the oxidation.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-337516.html