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Anordnung zur tomografischen Erfassung von plattenförmigen Objekten

 
: Fischer, Björn; Krüger, Peter; Reinert, Sven

:
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DE 102013013344 A1: 20130805
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IKTS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft Anordnung zur tomografischen Erfassung von plattenförmigen Objekten, insbesondere bestückte Leiterplatten. Sie kann besonders vorteilhaft für die zerstörungsfreie Prüfung solcher Objekte eingesetzt werden. Bei der erfindungsgemässen Anordnung wird ein Elektronenstrahl einer Röntgenröhre auf ein Röntgenstrahlung emittierendes Target gerichtet. Das Objekt ist auf einem um eine Rotationsachse rotierenden Träger angeordnet. Die Rotationsachse des Trägers sowie die mittlere Längsachse der Stabanode, die auf das Target gerichtet ist, sind parallel zueinander ausgerichtet.; Ein Röntgendetektor für die ortsaufgelöste Aufnahme von Abbildungen des rotierenden Objektes oder ein Detektionsbereich des Röntgendetektors zur Aufnahme von Röntgenabbildungen bei Drehung des Objekts mit dem Träger aus verschiedenen Richtungen ist in einem Abstand neben dem Träger (5) mit Objekt so ist, dass ein jeweils zur tomografischen Erfassung vorgesehener Bereich des Objektes auf dem Röntgendetektor vollständig abbildbar ist. Das Target ist Bestandteil einer Stabanode, in die der von der Röntgenröhre emittierte Elektronenstrahl durch einen Hohlraum auf das Target gerichtet ist, so dass eine Positionierung der Stabanode zwischen auf der Oberfläche des Objektes ausgebildeten Erhebungen oder in in der Oberfläche ausgebildete Vertiefungen eingeführt mit einem minimierten Abstand zwischen Target und Objektoberfläche erreichbar ist.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-337489.html