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Verfahren zur Erstellung von Elementverteilungsbildern mit einem Transmissionselektronenmikroskop

 
: Mühle, Uwe; Gluch, Jürgen; Zschech, Ehrenfried

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Frontpage ()

DE 102013011674 A1: 20130711
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IKTS ()

Abstract
Source: DE102013011674A1 [DE] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erstellung von Elementverteilungsbildern mit einem Transmissionselektronenmikroskop, bei dem die Probe mit einem Elektronenstrahl durchleuchtet und der Elektronenstrahl nach Durchgang durch die Probe durch ein Energiefilter geleitet wird, der nur Elektronen innerhalb eines Energiefensters passieren laesst, das auf eine durch unelastische Streuung der Elektronen an einem darzustellenden Element gegenueber der Primaerenergie reduzierte Energie der Elektronen eingestellt ist. Bei dem Verfahren werden Elektronen des gefilterten Elektronenstrahls, die ohne Strahlablenkung durch die Probe gelangt sind, mit einem Detektor erfasst. Das vorgeschlagene Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass das Transmissionselektronenmikroskop zur Erzeugung des Elementverteilungsbildes im STEM-Modus betrieben wird. Mit dem Verfahren koennen Elementverteilungsbilder hoher Bildqualitaet erhalten werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-337429.html