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Verfahren zum Abscheiden einer transparenten, elektrisch leitfähigen Metalloxidschicht

 
: Fietzke, Fred; Junghähnel, Manuela; Preußner, Thomas; Krätzschmar, Bernd-Georg

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Frontpage ()

DE 102013210155 A1: 20130531
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
DE102013210155A1 [DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer transparenten, elektrisch leitfaehigen Metalloxidschicht auf mindestens einem Substrat durch Zerstaeuben mindestens eines Targets im Plasma mindestens einer Magnetron-Sputterquelle (2) innerhalb einer Arbeitskammer (1), wobei das Plasma der Magnetron-Sputterquelle (2) zumindest teilweise mit dem Plasma mindestens einer magnetfeldunterstuetzten Hohlkatoden-Bogenentladung ueberlagert wird.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-337389.html