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Title
Optische Anordnung mit Strahlaufteilung
Date Issued
2014
Author(s)
Patent No
102013209829
Abstract
Es wird eine Vorrichtung mit einer optischen Struktur, Stegen und einem elektrostatischen Aktuator mit einer Auslegerelektrode beschrieben, bei der die Stege die optische Struktur mit einer tragenden Struktur verbinden und der elektrostatische Antrieb ausgebildet ist, um die optische Struktur auszulenken.
Disclosed is a device comprising an optical structure, connecting pieces and an electrostatic actuator having a cantilever electrode, in which device the connecting pieces link the optical structure to a carrying structure and the electrostatic drive is designed to deflect the optical structure.
Language
de
Patenprio
DE 102013209829 A1: 20140203