Fraunhofer-Gesellschaft

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Elektrostatischer Aktuator und Verfahren zum Herstellen desselben

ELECTROSTATIC ACTUATOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
 
: Lange, Nicolas; Wippermann, Frank

:
Frontpage ()

DE 102013209804 A1: 20130527
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Es wird ein elektrostatische Aktuator mit einer stationären Elektrode 14 und einem einseitig fest eingespannten Bieger 22' beschrieben, wobei der Bieger 22' eine Auslegerelektrode 29 umfasst, die der stationären Elektrode 14 in einem Überlappungsbereich gegenüberliegend angeordnet ist und in Richtung der stationären Elektrode 14 auslenkbar ist.

 

WO14191361A1 [EN] The invention relates to an electrostatic actuator comprising a stationary electrode (14) and a bending portion (22') which is securely fixed on one side and which comprises a cantilevered electrode (29) which is arranged opposite the stationary electrode (14) in an overlapping area and which can be moved in the direction of the stationary electrode (14).

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-337379.html