Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten Element und Verfahren zum Herstellen desselben

Die Erfindung bezieht sich auf eine MEMS-Struktur mit einem Stapel aus unterschiedlichen Schichten und einem in der Dicke variierenden Feder-Masse-System, welches aus dem Stapel gebildet wird und bei dem von einer Rückseite des Stapels und des Substrats aus an lateral unterschiedlichen Stellen das Substrat unter Verbleib der ersten Halbleiterschicht respektive das Substrat, die erste Ätzstoppschicht und die erste Halbleiterschicht entfernt sind, sowie ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Struktur.

US2014339658A [EN] The invention relates to an MEMS structure with a stack made of different layers and a spring-and-mass system varying in its thickness which is formed of the stack, and wherein, starting from a back side of the stack and the substrate, at laterally different positions, the substrate while leaving the first semiconductor layer, or the substrate, the first etch-stop layer and the first semiconductor layer are removed, and to a method for manufacturing such a structure.