Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Experimental and Theoretical Investigations on an in situ k-restore Process with Plasma Enhanced Fragmentation for Damaged ULK Materials

 
: Foerster, A.; Koehler, N.; Zimmermann, S.; Fischer, T.; Wagner, C.; Schuster, J.; Gemming, S.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft 50 (2015), No.3
ISSN: 0420-0195
ISSN: 0372-5448
Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG Jahrestagung) <79, 2015, Berlin>
Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG Frühjahrstagung) <2015, Berlin>
English
Abstract
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-332484.html