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Konferenzschrift
Verschleißarme Hartstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Bedampfung mit Raten von 100 nm/s
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2005
Conference Paper
Title
Verschleißarme Hartstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Bedampfung mit Raten von 100 nm/s
Author(s)
Heinß, J.-P.
Metzner, C.
Mainwork
Reibung, Schmierung und Verschleiss. Forschung und praktische Anwendungen. 46. Tribologie-Fachtagung. Bd.1: Plenarvortrag, GfT-Förderpreise, Tribo-talk, tribologische Systeme, Werkstoffe und Werkstofftechnologien, dünne Schichten und Oberflächentechnologien
Conference
Tribologie-Fachtagung 2005
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Keyword(s)
Hartstoffschicht
dünne Schicht