Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen

 
: Gommel, U.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2005 : 10. und 11. Mai 2005, Stuttgart
Stuttgart, 2005
25 pp.
Meßtechnisches Praktikum <2005, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; Emissionsverhalten; Klassifizierung; Reinraum; Werkstoff; Teilchen; Reibung

Abstract
Zur Unterstützung der Industrie beim Aufbau von Fertigungsanlagen für kontaminationsempfindliche Mikrosysteme werden reinheitsgerechte Grund- und Aufbaumaterialien benötigt. Weltweit stehen keine Werkstofflisten zur Verfügung, so dass bei der Auswahl geeigneter Materialien rein auf optische und nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien, angewiesen sind. Dem soll durch ein standardisiertes Prüfverfahren zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen entgegengetreten werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-32950.html