Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Deposition of copper thin films for ULSI interconnects by ALD of copper oxide and subsequent reduction

 
: Waechtler, T.; Mothes, R.; Hofmann, L.; Schulze, S.; Oswald, S.; Schulz, S.E.; Lang, H.; Hietschold, M.; Gessner, T.

Michel, B. (Hrsg.); Gessner, T.:
Smart systems integration for micro- and nanotechnologies : Honorary volume on the occasion of Thomas Gessner's 60th birthday
Dresden: ddp Goldenbogen, 2014
ISBN: 978-3-932434-78-5
pp.207-215
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Book Article
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-328263.html