Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Investigation of reactive and nano scale material systems for room-temperature reactive wafer bonding

 
: Bräuer, J.; Besser, J.; Wiemer, M.; Gessner, T.

Michel, B. (Hrsg.); Gessner, T.:
Smart systems integration for micro- and nanotechnologies : Honorary volume on the occasion of Thomas Gessner's 60th birthday
Dresden: ddp Goldenbogen, 2014
ISBN: 978-3-932434-78-5
pp.467-472
English
Book Article
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-328260.html