Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

AIM technology and devices - from basic research to industrial proven MEMS platform

 
: Bertz, A.; Reuter, D.; Nowack, M.

Michel, B. (Hrsg.); Gessner, T.:
Smart systems integration for micro- and nanotechnologies : Honorary volume on the occasion of Thomas Gessner's 60th birthday
Dresden: ddp Goldenbogen, 2014
ISBN: 978-3-932434-78-5
pp.491-499
English
Book Article
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-328259.html