Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Improvement of yield and reliability of sub-30 nm structures with finite element analysis in BEOL stress engineering

 
: Kaulfersch, E.; Brämer, B.; Breuer, D.; Rzepka, S.; Clauss, E.; Feustel, F.; Michel, B.

Michel, B. (Hrsg.); Gessner, T.:
Smart systems integration for micro- and nanotechnologies : Honorary volume on the occasion of Thomas Gessner's 60th birthday
Dresden: ddp Goldenbogen, 2014
ISBN: 978-3-932434-78-5
pp.573-579
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Book Article
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-328237.html