Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Silizium-Halbleitertechnologie. Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl.

 
: Hilleringmann, U.

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Wiesbaden: Springer Vieweg, 2014, XI, 263 pp.
ISBN: 978-3-8348-1335-0 (Print)
ISBN: 978-3-8348-2085-3 (Online)
German
Book
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-328236.html