English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Buch
Silizium-Halbleitertechnologie. Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl.
Details
Full
Export
Statistics
Options
2014
Book
Titel
Silizium-Halbleitertechnologie. Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl.
Author(s)
Hilleringmann, U.
Verlag
Springer Vieweg
Verlagsort
Wiesbaden
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS