Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Oberflächenmodifizierung mit Licht

 
: Schmüser, Christian

:
Fulltext urn:nbn:de:0011-n-3278798 (8.0 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 3980af5ef0e9e4ad4a48c8de237cec9c
Created on: 18.2.2015


Bremen: Fraunhofer IFAM, 2015, 37 pp.
German
Report, Electronic Publication
Fraunhofer IFAM ()
Oberflächenmodifizierung; Licht; Abbau; Ätzen; surface modification; light; etching; silicon

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-327879.html