Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electrical properties of hafnium silicate films obtained from a single-source MOCVD precursor

 
: Lemberger, M.; Paskaleva, A.; Zurcher, S.; Bauer, A.J.; Frey, L.; Ryssel, H.

:

Microelectronics reliability 45 (2005), No.5-6, pp.819-822
ISSN: 0026-2714
Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDim) <13, 2004, Kinsale, Ireland)>
English
Journal Article, Conference Paper
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-32529.html