Fraunhofer-Gesellschaft

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Mechanische Prüfung von dünnen Schichten mit der laserakustischen Prüfmethode LAwave

 
: Schneider, D.; Schwarz, T.; Schultrich, B.

Blau, W. ; Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-; Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung e.V. -DGZfP-, Berlin; Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren -IZFP-, Institutsteil Dresden; Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik -IWS-, Dresden:
Messtechnik für die Qualitätssicherung in der Dünnschichtindustrie : Workshop mit Industrieausstellung, Dresden, 26. und 27. Januar 2005. Tagungsband
Dresden: EFDS, 2005
pp.1-9
Workshop Messtechnik für die Qualitätssicherung in der Dünnschichtindustrie <1, 2005, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Akustische Oberflächenwellen reagieren empfindlich auf Beschichtungen und Oberflächenmodifizierungen. Davon macht die laserakustische Prüfmethode LAwave Gebrauch. Sie misst die Dispersion der akustischen Oberflächenwellen und berechnet daraus die Materialeigenschaften von Schichten und oberflächennahen Bereichten. Es kann der Elastizitätsmodul und unter günstigen Bedingungen zusätzlich die Dichte des Schichtwerkstoffes bestimmt werden. Die Messmethode zeichnet sich durch einen vergleichsweise einfachen mechanischen Aufbau aus. Trotzdem kann man damit Schichten bis zu wenigen Nanometern Dicke untersuchen oder an spritzrauen Oberflächen von Plasmaspritzschichten messen. Es wird das Grundprinzip erläutert und einige Anwendungsbeispiele beschrieben. Dies sind im Einzelnen die Prüfung von: 1. Nanometerschichten aus superhartem amorphen Kohlenstoff für den Schutz von Festplatten; 2. Hochporöse Xerogel-Schichten für die Verringerung der Leistungskapazität in Halbleiterbauelementen; 3. Plasmaspritzschichten aus Y2O3-stabilisierten Z rO2 zur Wärmedämmung; 4. Bearbeitungsrandschichten in Halbleiterwafern.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-32482.html