Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Designoptimierung und Charakterisierung eines mittels Elektronenstrahldirektschreibens hergestellten Siliziumstempels zur Fertigung von plasmonisch aktiven Nanostrukturen

 
: Kaiser, Michael
: Hohle, Christoph; Fischer, Wolf-Joachim

Dresden, 2014, XI, 105 pp.
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2014
German
Thesis
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-324415.html