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2014
Conference Paper
Titel
Ellipsometrie an gekrümmten Oberflächen
Abstract
Die Ellipsometrie ist ein etabliertes und sehr sensitives Messverfahren zur Schichtdickenmessung an ebenen Oberflachen und wird zur stichprobenhaften Qualitätskontrolle vielfach eingesetzt. Durch ein neu entwickeltes Messverfahren können Polarisationsmessungen an gekrümmten Oberflächen mithilfe eines Laserscanners durchgeführt werden, wodurch eine großflächige Oberflächenprüfung im Durchlauf ermöglicht wird. Dieser Artikel behandelt die Gemeinsamkeiten und die Unterschiede zwischen der klassischen Ellipsometrie und der neu entwickelten Retroreflex-Ellipsometrie hinsichtlich der gemessenen physikalischen Großen und der detektierbaren Oberflächen und Schichtdicken.
Konferenz