Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Kombination von Laser- und MEMS Technologieprozessen fuer Integrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturen

 
: Helke, C.; Enderlein, T.; Harazim, S.; Nestler, J.; Otto, T.; Schmidt, O.G.; Gessner, T.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014. Mikromechanik & Mikroelektronik. CD-ROM : 21./22. Oktober 2014, Chemnitz
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2014
ISBN: 978-3-00-047625-9
pp.89-93
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik <12, 2014, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-318166.html