Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Optimiertes Schreiben optischer Mikrostrukturen

 
: Schmitt, R.; Harnisch, E.

Mikroproduktion 12 (2014), No.5, pp.37-41
ISSN: 1614-4538
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()

Abstract
Um die Zwei-Photonen-Lithografie als Produktionsverfahren für individuelle Mikrostrukturen zu erschließen, müssen die Schreibdauer verkürzt und die Oberflächengüten verbessert werden. Die Untersuchung unterschiedlicher Schreibvariationen zeigte nun, wie sich beide Ziele erreichen lassen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-315999.html