Fraunhofer-Gesellschaft

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LARGE - großflächige Atmosphärendruck-Plasmabehandlung

 
: Kotte, Liliana; Roch, Julius; Mäder, Gerrit; Leupolt, Beate; Kaskel, Stefan

:
presentation urn:nbn:de:0011-n-3159526 (3.6 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: d5f9e49867af14e3aa2fd3cf006efa50
Created on: 2.12.2014


ThGOT 2014. Dünne Schichten in der Optik. CD-ROM : 10. ThGOT Thementage Grenz- und Oberflächentechnik mit 4. Optik-Kolloquium vom 02.09.2014 - 04.09.2014 in Leipzig; Vorträge, Poster, Aussteller
Leipzig, 2014
23 Folien
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik (ThGOT) <10, 2014, Leipzig>
Optik-Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" <4, 2014, Leipzig>
European Commission EC
FP7; 309530; Pliant
German
Conference Paper, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()
Plasmaverfahren; Plasmaquelle

Abstract
Einsatzfelder für Atmosphärendruckplasmen sind beispielsweise die Funktionalisierung von Verbundmaterialien zur Verbesserung der Adhäsion oder der Auftrag von Haftvermittlerschichten zum strukturellen Kleben. Zu diesen Themen wird am Fraunhofer IWS mit der LARGE (Long-Arc-Generator) Plasmaquelle gearbeitet. Mit dieser wird ein linearer Lichtbogen mit einer skalierbaren Länge von bis zu 350 mm generiert. Ein besonderes Merkmal dieser ist die Möglichkeit der Verwendung einer Vielzahl von Plasmagasen sowie deren Mischung, z. B. Druckluft, Ar +N2, O2, CO2, H2 ect. Im Vortrag werden diese charakterisiert und Beispiele für deren Einsatzgebiete gezeigt. Schwerpunkt des Vortrages ist die Darstellung der SiO2-Haftvermittlerschichtabscheidung im offenen System. Durch die Adaption einer Reaktivgaszuführung an die LARGE-Plasmaquelle können die Precursoren HMDSO oder TEOS in das Plasma eingespeist werden. Die SiO2-Schichteigenschaften werden von vielen Prozessparametern (Beschichtungsabstand, Prozessgeschwindigkeit, Plasmagas, Reaktivgaszuführungsdesign und Material ect.) bestimmt.

Teile der präsentierten Ergebnisse entstanden im Rahmen des EU-Förderprojektes Process LineImplementation for Applied Surface Nanotechnologies (PLIANT), www.pliant.eu

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-315952.html

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