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Vorrichtung zur Zündung und Reaktionsübertragung in reaktiven Mehrschichtsystemen

Silicon substrate, has reactive multilayer comprising two-dimensional nanosheets made of different materials, and insulating layer arranged between upper cap substrate and reactive multilayer and connected with lower substrate
 
: Reinert, Wolfgang

:
Frontpage ()

DE 102012110549 A1: 20121105
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein erstes Substrat mit einem darauf ein- oder beidseitig aufgebrachten Fügeschichtsystem, wobei das Fügeschichtsystem auf der jeweiligen Seite/Oberfläche des ersten Substrats
– einen reaktiven Multilayer mit mindestens zwei alternierenden flächigen Nanoschichten aus mindestens zwei jeweils unterschiedlichen und nach einer Initiierung miteinander unter sich selbsterhaltender Reaktionsausbreitung exotherm reagierenden Materialien sowie
– eine zwischen dem ersten Substrat und dem reaktiven Multilayer angeordnete thermisch entkoppelnde feste Isolierschicht
aufweist und derart ausgebildet ist, dass das erste Substrat mittels des Fügeschichtsystems
– mit einem zweiten Substrat verbunden werden kann, um mindestens ein passives oder aktives Bauelement zwischen dem ersten und dem zweiten Substrat teilweise oder vollständig einzuschließen oder hermetisch zu verkapseln, und/oder
– flächig mit einem dritten Substrat verbunden werden kann.
Ferner betrifft die Erfindung ein System, das durch das Verbinden des ersten Substrats mittels des Fügeschichtsystems mit einem weiteren Substrat erhalten wurde, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren

 

The substrate has a bonding layer system arranged on both surfaces of an upper cap substrate (1). A reactive multilayer (7) comprises two alternating two-dimensional nanosheets made of different materials. An insulating layer is arranged between the upper cap substrate and the reactive multilayer that are thermally decoupled. The upper cap substrate is connected to an active element (4) to hermetically encapsulate the substrates. The insulating layer is extensively connected with a lower substrate (2). An insulating layer is made of oxide, carbide or nitride or transition metal. Independent claims are also included for the following: (1) a device for providing ignition and reaction transmission in reactive multilayer system (2) a method for providing ignition and reaction transmission in reactive multilayer system.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-311128.html