Verfahren sowie Vorrichtungssystem zur Bestimmung einer Oberflächenform eines Messobjekts

DE102012107591A1 Es wird ein Verfahren zur Bestimmung einer Oberflaechenform eines Messobjekts (11, 21, 31, 41) mit einer beruehrungslosen Messmethode zur dreidimensionalen Formermittlung vorgestellt, bei dem die zu bestimmende Messobjektoberflaeche zumindest bereichsweise mit mindestens einer Messfolie (14, 34, 44) abgedeckt wird, welche eine zur Durchfuehrung der Messmethode geeignete Messfolienstruktur aufweist, und die Messmethode auf die mit der mindestens einen Messfolie (14, 34, 44) abgedeckten Messobjektoberflaeche angewandt wird. Des weiteren wird ein Vorrichtungssystem zur Bestimmung einer Oberflaechenform eines Messobjekts (11, 21, 31, 41) vorgeschlagen, mit einer eine Auswerteeinheit umfassenden Messeinrichtung zur dreidimensionalen Formermittlung unter Einsatz einer beruehrungslosen Messmethode, und mit mindestens einer Messfolie (14, 34, 44), welche eine zur Durchfuehrung der Messmethode geeignete Messfolienstruktur aufweist.

The method involves covering a measurement object surface partially with a measuring film (14) and measuring a film structure. A measurement process is carried out on a target surface covered with the measuring film. Electromagnetic radiation (13a) is radiated on a measuring film using an irradiating process. The electromagnetic radiation is partially and diffusely scattered on the measuring film. The measuring film is pressed based on pressure difference between two spaces adjacent to the measuring film. An independent claim is also included for a system for determining a surface shape of a measured object.