Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Lorentzkraft-basierter MEMS-3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMU

 
: Behmüller, M.; Weiss, M.; Claus, M.; Bohse, S.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Reimer, K.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM : Von Bauelementen zu Systemen; 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen
Berlin: VDE-Verlag, 2013
ISBN: 978-3-8007-3555-6
ISBN: 3-8007-3555-5
pp.567-570
MikroSystemTechnik Kongress <2013, Aachen>
German
Conference Paper
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-310797.html