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Konferenzschrift
Untersuchung der Mikro- und Nanorauhigkeit von Oberflächen mittels Streulichtmessung
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2003
Conference Paper
Titel
Untersuchung der Mikro- und Nanorauhigkeit von Oberflächen mittels Streulichtmessung
Author(s)
Duparre, A.
Hauptwerk
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik
Konferenz
VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) 2003
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF