Fraunhofer-Gesellschaft

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Technologieentwicklung zur Herstellung präziser mikrofluidischer Systemkomponenten

 
: Groß, Stefan; Eckert, Udo; Edelmann, Jan

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014. Mikromechanik & Mikroelektronik. CD-ROM : 21./22. Oktober 2014, Chemnitz
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2014
ISBN: 978-3-00-047625-9
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik <12, 2014, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWU ()
Mikrobearbeitung; Mikrofluidic; Laserstrukturierung; Mikrofräsen; Präzisionsbearbeitung; Verfahrenskombination; Technologieentwicklung

Abstract
Die Miniaturisierung von mikrofluidischen Systemen und Funktionselementen stellt, bedingt durch steigende Anforderungen hinsichtlich Funktionalität und Funktionsdichte, hohe Anforderungen an die eingesetzten Fertigungsverfahren. Das Heißprägen von Mikrostrukturelementen stellt ein kostengünstiges und effektives Verfahren mit hoher Abbildungsqualität dar, welches es ermöglicht die benötigten Mikrostrukturen in unterschiedlichste Materialen wie Kunststoff, Glas und Metall in hohen Stückzahlen abzuformen. Dabei werden an die benötigten metallischen oder keramischen Abformwerkzeuge besondere Anforderungen gestellt. Von entscheidender Bedeutung ist dabei die Oberflächenqualität und die Genauigkeit der Mikrofluidikstrukturen um einen gleichmäßigen und definierten Fluidfluss zu gewährleisten. Geeignete Verfahren zur Herstellung solcher hochpräzisen Prägewerkzeuge sind unter anderem das Mikrofräsen und die Lasermikrostrukturierung sowie die Kombination beider Verfahren.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-310757.html