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Title
Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren des Verdampfens mittels Schiffchenverdampfer
Date Issued
2005
Author(s)
Wuensche, T.
Fietzke, F.
Goedicke, K.
Straach, S.
Patent No
2003-10347989
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Stabilisieren der Verdampfung im Vakuum mittels eines durch direkten Stromdurchgang geheizten Schiffchenverdampfers mit kontinuierlicher oder quasikontinuierlicher Zufuhr des Verdampfungsmaterials, wobei der zeitliche Verlauf mindestens einer elektrischen Zustandsgroesse des Schiffchens mittels mindestens einer Messeinrichtung erfasst wird und aus diesem Verlauf kontinuierlich Daten gewonnen werden, welche die Statusgroessen Temperatur des Schiffchens und Bedeckungsgrad des Schiffchens mit Verdampfungsmaterial qualitativ charakterisieren, wobei die gewonnenen Daten einen Regelalgorithmus beaufschlagen, welcher einen Sollwert ermittelt, der ein Mass fuer die Heizleistung des Schiffchens darstellt.
DE 10347989 A UPAB: 20050608 NOVELTY - Stabilized vacuum coating deposition by direct current heating of a shuttle evaporator (SE)(sic) with continuous or quasi-continuous feed of coating material, where the electrical state of the SE is measured at different times with continuous supply of data on the temperature and the degree of covering of the SE, data is passed to a control algorithm which determines a theoretical value which provides a measure of the heating output of the SE. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for a device for stabilized vacuum evaporation as referred to above. USE - The process is used in the deposition of metals and alloys, coating of synthetic plastic film with Al, in the packaging and textile industries, and for coating semiconductors. ADVANTAGE - Coatings have improved quality because of the uniform deposition rate, can be automated, and avoids instability when, for example, the material for evaporation is supplied in wire form.
Language
de
Patenprio
DE 2003-10347989 A: 20031015