Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Neue kristalline Piezoaktoren für die industrielle Messtechnik

New crystalline piezo actuators for industrial measurement applications
 
: Hinkov, V.; Körber, M.

:

Technisches Messen : TM 72 (2005), No.7-8, pp.476-482
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0171-8096 (Print)
ISSN: 2196-7113 (Online)
German
Journal Article
Fraunhofer IPM ()
Piezo-Aktoren; LiNbO3; Piezoeffekt; Domäneninversion; kristallines Bimorph

Abstract
Es wurden neuartige monokristalline Piezoaktoren, die für die industrielle Messtechnik besonders gut geeignet sind, entwickelt und untersucht. Der vorliegende Beitrag zeigt, wie die Herstellungstechnologie der thermischen Domäneninversion optimiert wurde, wobei noch ein relativ großer Spielraum zur Verbesserung dieser Technologie und somit zur Steigerung der Leistungsfähigkeit der neuen Aktoren besteht. Darüber hinaus haben die Untersuchungen der Wandler folgende Eigenschaften gezeigt: hohe Linearität, extrem kleine Hysterese im Bereich von Promille der maximalen Ablenkung, Ermöglichung von Torsionsbewegungen mit hoher Bandbreite (3 kHz), sehr gute Temperaturstabilität und eine sehr hohe Auflösung beim Einsatz als Laserstrahlablenker.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30265.html