Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

High-rate vapor deposition and large systems for coating processes

 
: Schiller, S.; Beister, G.; Heisig, U.; Förster, H.

:

Journal of vacuum science and technology A. Vacuum, surfaces and films 5 (1987), No.4, pp.2239-2245
ISSN: 0734-2101
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30249.html