Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

New sputter-cleaning system for metallic substrates

Neues Sputter-Reinigungssystem für metallische Substrate
 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Steinfelder, K.

Thin solid films 32 (1976), No.1, pp.68
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30240.html