Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasmatron sputtering for the production of high stability NiCr resistive films

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.; Bilz, H.; Henneberger, J.; Brode, W.; Dietrich, W.

:

Thin solid films 119 (1984), No.2, pp.211-216
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30234.html