Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Cr-Si resistive films produced by magnetron-plasmatron sputtering

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Steinfelder, K.; Korndörfer, C.

:

Thin solid films 96 (1982), No.4, pp.279-284
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30225.html