Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Verfahren und Einsatzmöglichkeiten des Plasmatron-Hochratezerstäubens für Beschichtungsaufgaben der Elektronik

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.; Bilz, H.; Steinfelder, K.

Vakuum-Technik 30 (1981), No.7, pp.197-207
ISSN: 0042-2266
German
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30224.html