Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Complete thin film system for hybrid circuits sputtered with the plasmatron

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.; Bilz, H.; Pfeil, G.; Henneberger, J.; Vogler, G.

:

Thin solid films 83 (1981), No.2, pp.165-172
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30223.html