Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Influence of deposition parameters on the optical and structural properties of TiO2 films produced by reactive D.C. plasmatron sputtering

 
: Schiller, S.; Beister, G.; Sieber, W.; Schirmer, G.; Hacker, E.

:

Thin solid films 83 (1981), No.2, pp.239-245
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30220.html