Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

High speed scanning electron beam annealing ion-implanted silicon layers

 
: Schiller, S.; Panzer, S.; Klabes, R.

:

Thin solid films 73 (1980), No.1, pp.221-226
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30217.html