Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Features of and in situ measurement on absorbing TiOx films produced by reactive D.C. magnetron-plasmatron sputtering

 
: Schiller, S.; Beister, G.; Schneider, S.; Sieber, W.

:

Thin solid films 72 (1980), No.3, pp.475-484
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30216.html