Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Advances in high rate sputtering with magnetron-plasmatron processing and instrumentation

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.; Steinfelder, K.; Schade, K.; Teschner, G.; Henneberger, J.

:

Thin solid films 64 (1979), No.3, pp.455-467
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30214.html