Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Electron beam evaporation and high-rate sputtering with plasmatron/magnetron systems - a comparison (Teil I)
| Vakuum-Technik 27 (1978), No.2, pp.51-55
ISSN: 0042-2266 |
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| Fraunhofer FEP () |