Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electron beam evaporation and high-rate sputtering with plasmatron/magnetron systems - a comparison (Teil I)

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.

Vakuum-Technik 27 (1978), No.2, pp.51-55
ISSN: 0042-2266
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30208.html