Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

On the use of ring gap discharges for high-rate vacuum coating

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.

:

Journal of vacuum science and technology 14 (1977), No.3, pp.815-818
ISSN: 0022-5355
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30207.html